重大科技——国家技术发明奖二等奖,超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用

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创作日期
2021-11-05
资源描述

刘庆担任首席科学家的“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目,对超高纯铝、铜、钽材料的变形机理和再结晶行为进行了系统的研究,为靶材的塑性变形及热处理工艺制定提供了理论支撑,实现超高纯金属溅射靶材晶粒尺寸及织构控制技术的突破。建立了超高纯铝、铜、钽材料内部组织结构的评价分析体系,确保了溅射靶材批量制造过程中品质的稳定和一致。

该项目创新了超高纯金属溅射靶材晶粒尺寸及织构控制技术、异种金属大面积焊接技术、精密机加工及表面处理术、全系列分析检测与评价技术,成功制备出超高纯金属溅射靶材,产品具有良好的稳定性和一致性,建成了年产五万枚靶材的生产基地,具有显著的经济效益。同时,该项目填补了国内靶材产业空白,该项目对提升我国集成电路、平板显示工艺及材料技术的自主创新能力,推动和发展我国电子信息产品的技术进步和产业安全起到了重要作用。

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